Ein einzigartiges Verfahren ermöglicht HTS-Beschichtung
Anfang der 90er Jahre wurde an der TU München ein einzigartiges Ko-Verdampfungsverfahren zur Herstellung komplexer HTS – Schichten (z.B. YBa2Cu3O7) entwickelt und damit der Grundstock für THEVA gelegt. Dieses Verfahren erlaubt eine schnelle, homogene Beschichtung großer Flächen und hat sich für die kommerzielle Produktion durchgesetzt.
Verschiedene Metalle werden im Vakuum gleichzeitig aus separaten Quellen verdampft. Die Verdampfungsraten werden einzeln kontrolliert um die gewünschte Zusammensetzung des Films zu gewährleisten.
Der entscheidende Trick liegt jedoch in der Sauerstoffzuführung über eine Tasche, aus der der Sauerstoff erst nach vielen Stößen entkommt und lange für die Oxidationsreaktion zur Verfügung steht. Dadurch wird der wenige Sauerstoff sehr effektiv genutzt.
Durch schnelle Bewegung wird das Substrat abwechselnd den Metalldämpfen und der reaktiven Sauerstoffatmosphäre ausgesetzt, so dass sich die gewünschte Oxidverbindung bildet.
Das folgende Video veranschaulicht den Produktionsprozess.
