Die Wiederentdeckung des Verdampfens

Das Aufdampfen im Vakuum zählt zu den ältesten und wirtschaftlich erfolgreichsten Beschichtungsverfahren. Beispiele sind Metallisierungen (Verpackungsfolien, Reflektoren, Deko) im großtechnischen Maßstab. Komplexe Verbindungen und vor allem oxidische Materialien lassen sich jedoch dadurch im Hochvakuum nur bedingt herstellen. Für diese Zwecke kommen daher oft andere Verfahren zum Einsatz, auch wenn sie erheblich langsamer sind. Wo immer jedoch das Verdampfen produktionstechnisch einsetzbar ist, besitzt es deutliche wirtschaftliche Vorteile, denn es ermöglicht hohe Beschichtungsraten auf großer Fläche und damit hohen Durchsatz.

Nach der Entdeckung der Hochtemperatur-Supraleiter hat THEVA demonstriert, wie sich das Bedampfen auch für diese komplexen Kupferoxidverbindungen einsetzen lässt (siehe Infobox).

Durch raffinierte Prozessführung und die Entwicklung zuverlässiger eigener Komponenten wie dem Smart E-vaporator, hat THEVA das Verdampfen praktisch wiederentdeckt und salonfähig gemacht.

Zu den neuesten Entwicklungen zählen die Beschichtung langer flexibler Metallbänder mit kontinuierlicher Einschleusung ins Hochvakuum (TapeGate) oder die Hochraten-Metallbeschichtung bei gleichzeitig hoher Materialausbeute und Schichthomogenität.