Elektronenstrahlverdampfen

Das Elektronenstrahlverdampfen wird in großtechnischem Maßstab eingesetzt, z.B. zur Metallisierung, für Optikkomponenten oder Plasmabildschirme.

Das Prinzip basiert auf einem Elektronenstrahl, der aus einer Quelle (beheiztes Filament, Entladung) gezogen und durch eine Elektronenoptik auf das Verdampfungsmaterial gelenkt wird. Durch die extreme Hitze kann praktisch jedes Material in die Gasphase überführt werden.

Am weitesten verbreitet sind kleine Verdampfer, bei denen das Filament zur E-Strahlerzeugung neben dem Tiegel sitzt und mittels Magneten in einem Bogen von 270°C in den Tiegel abgelenkt wird. Dies stellt eine günstige Laborlösung zur Verdampfung kleiner Materialmengen dar, denn aufgrund der Nähe zum Tiegel und der damit einhergehende Kontamination ist die Lebensdauer des Filaments stark begrenzt.

Im Hochleistungsbereich oberhalb 100 kW gibt es dagegen lineare E-Kanonen, mit elektromagnetischer Elektronenoptik, die zum Erhitzen großer Materialvolumina in großtechnischen Produktionsanlagen eingesetzt werden.

Die Smart E-vaporator Serie schließt diese Lücke, indem sie die Flexibilität und Zuverlässigkeit großer Quellen bereits im unteren Leistungsbereich bis 10 kW zur Verfügung stellt.