Anlagentechnik, die überzeugt.

THEVA besitzt langjährige Erfahrung in Konstruktion und Bau kundenspezifischer PVD-Anlagen für Produktion und Forschung.

Um Kundenanforderungen möglichst perfekt gerecht zu werden, setzen wir auf intelligentes, zweckmäßiges Design statt auf Lösungen von der Stange. 

Unsere Anlagen und Geräte sind weltweit im Einsatz (vgl. Referenzliste). Deshalb sind für uns Zuverlässigkeit und Qualität von höchster Bedeutung. Wir verwenden ausschließlich hochwertige Komponenten und eigene Entwicklungen (Smart E-Vaporator, TapeGate, Antriebstechnik für Bandsubstrate etc.).

Beispiele

Clusteranlagen für die Forschung und Entwicklung

Für Labors an Universitäten und Forschungsinstituten konstruieren wir multifunktionale Anlagen und Anlagencluster bis in den UHV-Bereich für die unterschiedlichsten Beschichtungs- und Analytikaufgaben. Wunschgemäß implementieren wir Substrateinschleusung und –transfer sowie Substrathalter mit Heizung oder Kühlung. Für Schattenmasken zur Herstellung einfacher Strukturen kann auch ein Maskenwechsler integriert werden.

Die TACOMA-Serie - Produktionsanlagen zur kontinuierlichen Bandbeschichtung

Durchsatz, Zuverlässigkeit und Automatisierung stehen im Mittelpunkt unserer TACOMA^TM Produktionsanlagen. Bei der Beschichtung langer Bänder haben wir sämtliche Materialvorräte nach außen verlagert. Das Bandsubstrat wird über eine patentierte Einschleusung (TapeGate^TM) ins Vakuum hinein und wieder herausgeführt ohne die empfindliche Oberfläche zu berühren. Ebenso wird das Verdampfungsmaterial als Draht von außen zugeführt. Dadurch können wir überall zuverlässige Standard-Antriebstechnik einsetzen.  Im Beschichtungsraum wird das Band in vielen Umläufen über einen Wickler geführt, um maximale Materialausnutzung zu erreichen. Die gesamte Anlage läuft SPS-basiert vollautomatisch.